产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”腾讯新闻

在外延设备方面，晶盛机电表示，公司生产的SiC碳化硅外延设备为公司独立研发设计和生产制造，核心技术均拥有独立的知识产权，目前已实现批量销售。季华实验室也在4月表

碳化硅（SiC）设备和工艺情况跟踪！投资不易，同志仍需

技术,碳化硅产业链条核心：外延技术知乎

技术,碳化硅产业链条核心：外延技术.碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高

碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有

碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有望突破.1.SiC碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心.1.1.SiC特点：第三代半导体之星，

晶盛机电（300316.SZ）：6英寸碳化硅外延设备实现批量

2天之前公司开发生产812英寸半导体大硅片的各类生产加工设备，同时基于产业链延伸，开发出了应用于晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、LPCVD设备；以及应用于功率

碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有

掌握了碳化硅晶片生产的“设备研制—原料合成—晶体生长—晶体切割—晶片加工—清洗检测”全流程关键技术和工艺。年8月17，公司碳化硅

苹果FaceID背后的半导体设备黑马正成为碳化硅市场的赢家

18小时之前AehrTestSolutions是美国一家拥有独特测试解决方案的小公司，其技术用于苹果的FaceID、英特尔硅光子学，以及最重要的SiC（碳化硅）。.几年前，该

SiC发展神速设备XFab碳化硅

这是一个需要用设备部署的大量洁净室空间。一些用于硅生产线的设备也可用于碳化硅生产线。但大批量的生产需要一些专门的工具。IDM和代工厂需要什么？随

碳化硅生产设备碳化硅生产设备批发、促销价格、产地货源

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英罗唯森：开启碳化硅设备先河澎湃号·媒体澎湃新闻The

工业生产中的许多工艺都需在高温、高压和强腐蚀性的环境中进行，因此迫切需要更高效的耐腐蚀、耐高温和长周期使用的设备，碳化硅换热器正是可以充分满足这些苛刻工艺环境的绝佳选择。碳化硅换热器是一种利用碳化硅陶瓷材料作为传热介质的新型换热器。

打造第三代半导体碳化硅材料全产业链科友关键装备和产品

而国外对碳化硅高端设备及产品进行技术封锁，碳化硅衬底的产能缺口巨大。为推动我国第三代半导体装备及材料产业链自主可控，哈尔滨工业大学教授赵丽丽于年带领技术团队成立科友半导体，依托国家及省市科技项目，持之以恒开展碳化硅高端装备设计及晶体材料研究。

一文看懂碳化硅（SiC）产业链腾讯新闻

海外碳化硅单晶衬底企业主要有Cree、DowCorning、SiCrystal、IIVI、新日铁住金、Norstel等。其中CREE、IIVI等国际龙头企业已开始投资建设8英寸碳化硅晶片生产线。国内企业也在积极研发和探索碳化硅器件的产业

第三代半导体重要材料碳化硅（SiC）国产化趋势分析：技术

与二代半导体类似，我国碳化硅生产设备也大量来自进口美欧日的产品。比如，外延片生产国内第一的瀚天天成公司，碳化硅外延晶片生长炉和各种进口高端检测设备都是引进德国Aixtron公司的，外延生长技术已达到国际先进水平的东莞天域公司

晶盛机电（300316.SZ）：6英寸碳化硅外延设备实现批量

2天之前公司开发生产812英寸半导体大硅片的各类生产加工设备，同时基于产业链延伸，开发出了应用于晶圆及封装端的减薄设备、外延设备、LPCVD设备；以及应用于功率半导体的碳化硅外延设备。目前公司已基本实现812英寸大硅片设备的全覆盖并批量销售，6

碳化硅8英寸晶圆加速量产中国经济网——国家经济门户ce.cn

合肥露笑科技投资100亿元建设碳化硅设备制造、长晶生产、衬底加工、外延制作等，预计其第二期、第三期将推进8英寸的量产。东莞天域也在筹备8

简述碳化硅的生产制备及其应用领域中国粉体网

三.国内生产工艺现状中国碳化硅冶炼的生产工艺、技术装备和单吨能耗都达到世界领先水平。黑、绿碳化硅原块的质量水平也属世界级。但是与国际相比，中国碳化硅的成产还存在以下问题：（1）生产设备不先进，很多工序依靠人力完成，人均产量较低。（2

江苏星特亮科技有限公司（官方网站）延安星特亮科创有限

延安星特亮科创有限公司致力于人工晶体生长设备和闪烁晶体材料的研发、生产和销售；主要产品有碳化硅单晶炉、碳化硅籽晶粘接炉、碳化硅单晶热处理炉、下降炉、直拉单晶炉等；闪烁晶体材料主要产品有1"—8"、1L—4L碘化钠（铊）系列晶体、溴化镧晶体、碘化铯晶体和探测器；公司现有核心

苹果FaceID背后的半导体设备黑马正成为碳化硅市场的赢家

18小时之前AehrTestSolutions是美国一家拥有独特测试解决方案的小公司，其技术用于苹果的FaceID、英特尔硅光子学，以及最重要的SiC（碳化硅）。.几年前，该

僧多粥少！第三半导体核心材料“碳化硅”，或将扶摇直上九万

第四家——晶盛机电。公司总市值：896.47亿。公司亮点：主营晶体硅生长设备，是国际领先的高端光伏装备供应商。在碳化硅材料方面，公司已成功生长出行业领先的8英寸碳化硅晶体，并建设了6英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线，实验线产品已通过下游部分客户验证，公司将

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碳化硅烧结炉湖南艾普德工业技术有限公司

1.碳化硅烧结炉是生产碳化硅材料的关键设备，经该设备反应烧结的碳化硅产品，具有优良的工艺性能。产品力度均匀，反应完全、化合含量高、质量好；配有脱蜡系统，强化脱蜡效果，炉内气氛更稳定；

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而国外对碳化硅高端设备及产品进行技术封锁，碳化硅衬底的产能缺口巨大。为推动我国第三代半导体装备及材料产业链自主可控，哈尔滨工业大学教授赵丽丽于年带领技术团队成立科友半导体，依托国家及省市科技项目，持之以恒开展碳化硅高端装备设计及晶体材料研究。

英罗唯森：开启碳化硅设备先河ThePaper

工业生产中的许多工艺都需在高温、高压和强腐蚀性的环境中进行，因此迫切需要更高效的耐腐蚀、耐高温和长周期使用的设备，碳化硅换热器正是可以充分满足这些苛刻工艺环境的绝佳选择。碳化硅换热器是一种利用碳化硅陶瓷材料作为传热介质的新型换热

全网最全】年中国碳化硅行业上市公司全方位对比(附

1、碳化硅产业上市公司汇总.碳化硅行业在产业链中处于中上游环节，下游主要服务于新能源汽车、5G通信等行业，以满足产业需求。.在碳化硅芯片制造环节，天岳先进是碳化硅行业的主要企业之一，围绕碳化硅衬底进行垂直深入的研究与生产。.注：5颗星为

碳化硅外延技术突破或改变产业格局！面包板社区

或将改变国际碳化硅外延产业格局.碳化硅产业链主要分为晶片制备、外延生长、器件制造、模块封测和系统应用等几个重要的环节。.其中外延生长是承上启下的重要环节，具有非常关键的作用。.图3碳化硅产业链.因为现有器件基本都是在外延层上实现的

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先进半导体研究院碳化硅芯片怎么制造？（科普视频转发

浙江大学先进半导体研究院宽禁代半导体材料（碳化硅、氮化镓）以碳化硅和氮化镓为代表的宽禁带半导体材料，突破原有半导体材料在大功率、高频、高速、高温环境下的性能限制，在5G通信、物联网、新能源、国防尖端武器装备等前沿领域，发挥重要作

苹果FaceID背后的半导体设备黑马正成为碳化硅市场的赢家

日本测试公司Advantest和美国半导体测试公司Teradyne最著名的是自动测试设备（ATE）。.ATE工具取出探针卡，将它们与晶圆上的芯片完美对齐，并与晶圆上的电路进行物理接触，然后它向电路发送精确的电气测试信号以表征它们。.AehrTestSolutions是美国一家拥有独特

僧多粥少！第三半导体核心材料“碳化硅”，或将扶摇直上九万

第四家——晶盛机电。公司总市值：896.47亿。公司亮点：主营晶体硅生长设备，是国际领先的高端光伏装备供应商。在碳化硅材料方面，公司已成功生长出行业领先的8英寸碳化硅晶体，并建设了6英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光环节的研发实验线，实验线产品已通过下游部分客户验证，公司将